中巨芯科技股份有限公司--六氯乙硅烷(HCDS)

英文名称：Hexachlorodisilane
纯度等级：7N
包装规格：38L钢瓶

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主要应用：半导体晶圆制造的成膜工艺

HCDS是半导体制造中一种重要的硅源前驱体，其具有独特的双硅结构，在先进制程中展现出关键优势，主要用于高介电常数材料沉积和特种薄膜制备工艺，在先进逻辑芯片和3D NAND中广泛应用。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

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