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半导体晶圆制造

高纯正硅酸乙酯(TEOS)

英文名称:tetraethyl orthosilicate
纯度等级:9N
包装规格:19L钢瓶、200L钢瓶
业务咨询
详细介绍
主要应用:半导体晶圆制造的成膜工艺
高纯正硅酸乙酯(TEOS)广泛应用于半导体制造中的化学气相沉积工艺形成二氧化硅淀积膜,产生导电层或绝缘层、产生减反射膜提高吸光率、临时阻挡刻蚀等,以此阻挡污染物和杂质进入半导体元件。本产品具有超高纯度等优点,可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

 

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