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半导体晶圆制造

高纯三氟甲烷(CHF3)

英文名称:Trifluoromethane
纯度等级:5N
包装规格:47L钢瓶
业务咨询
详细介绍
主要应用:半导体晶圆制造的蚀刻工艺
高纯三氟甲烷作为重要的含氟电子特气,再半导体制程中扮演着关键角色,尤其是在先进制程的干法蚀刻和腔体清洗领域具有不可替代的优势。本产品具有超高纯度等优点,可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

 

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