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半导体晶圆制造
四(二甲基氨基)钛(TDMAT)
英文名称:Titanium tetrakis(dimethylamide)
纯度等级:6N
包装规格:1.3L钢瓶、2.2L钢瓶
业务咨询
销售电话:0570-3687736 / 0570-3091321
邮箱:
sales@grandit.com.cn
详细介绍
主要应用:
半导体晶圆制造的成膜工艺
TDMAT是一种重要的金属有机前驱体,在半导体先进制程中主要用于高介电常数材料和金属钛薄膜的原子层沉积与化学气相沉积工艺中应用。
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高纯三氟化氯(ClF3)
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六氯乙硅烷(HCDS)
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