中巨芯科技股份有限公司--高纯氯气（Cl2）

英文名称：Chlorine
纯度等级：6N
包装规格：10L钢瓶、47L钢瓶、440L（Y钢瓶）、930L（T钢瓶）

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主要应用：半导体晶圆制造的蚀刻工艺

高纯氯气是半导体工艺中的关键气体，具有强氧化性和高反应活性，主要用于硅及多晶硅蚀刻、金属蚀刻、化合物半导体蚀刻等干法蚀刻，硅外延生长和氮化硅沉积等薄膜沉积、以及CVD或蚀刻轻体内的硅/金属沉积物的腔体清洗等工艺。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

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