中巨芯科技股份有限公司--高纯一氟甲烷（CH3F）

英文名称：Fluoromethane
纯度等级：5N
包装规格：47L钢瓶

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主要应用：半导体晶圆制造的蚀刻工艺

高纯一氟甲烷作为新一代含氟电子气体，在半导体制造中因其特殊的物理化学特性，在高选择性介质蚀刻、逻辑芯片自对准接触孔、原子层精度蚀刻、先进封装（硅通孔绝缘层蚀刻和RDL再布线层）起到关键作用，逐步替代传统的高GWP气体。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

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