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半导体晶圆制造

高纯二氟甲烷(CH2F2)

英文名称:Difluoromethane
纯度等级:5N
包装规格:40L钢瓶、880L钢瓶
业务咨询
详细介绍
主要应用:半导体晶圆制造的蚀刻工艺
高纯二氟甲烷作为新一代低全球变暖潜能值的含氟电子特气,再半导体制造中展现出独特的工艺优势,尤其再先进制程的3D NAND精密蚀刻和清洗领域具有不可替代性。本产品具有超高纯度等优点,可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

 

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