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半导体晶圆制造

高纯八氟环戊烯(C5F8)

英文名称:Octafluorocyclopentene
纯度等级:5N
包装规格:10L钢瓶
业务咨询
详细介绍
主要应用:半导体晶圆制造的蚀刻工艺
高纯八氟环戊烯是一种高性能含氟电子特气,在半导体制造中主要用于高精度蚀刻和设备清洗工艺,尤其适用于先进制程。本产品具有超高纯度等优点,可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

 

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