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半导体晶圆制造

高纯六氟丁二烯(C4F6)

英文名称:Hexafluorobutadiene
纯度等级:4N
包装规格:47L钢瓶
业务咨询
详细介绍
主要应用:半导体晶圆制造的蚀刻工艺
高纯六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,在半导体制造中主要用于高精度蚀刻和清洗工艺,尤其是在3D NAND和先进制程中具有优异的性能。本产品具有超高纯度等优点,可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

 

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