中巨芯科技股份有限公司--高纯氦气（He）

英文名称：Helium
纯度等级：7N
包装规格：47L钢瓶、管束车

业务咨询

主要应用：半导体晶圆制造的保护气等公用工程

高纯氦气是一种稀有气体，在半导体制造中起到关键角色，因其物理化学惰性在化学气相沉积、外延生长等作为保护气，与其他气体混合用于干法刻蚀、离子注入等等离子体工艺和热管理工艺中起到重要作用。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

前一页：高纯硅烷（SiH4）

下一页：高纯二氧化碳（CO2）