中巨芯科技股份有限公司--高纯硅烷（SiH4）

英文名称：Silicane
纯度等级：5N
包装规格：47L钢瓶、440L（Y钢瓶）、管束车

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主要应用：半导体晶圆制造的成膜工艺

高纯硅烷是半导体制造中最关键的硅源气体，在多晶硅沉积、单晶硅外延、非晶硅薄膜等薄膜沉积工艺，氮化硅沉积、氧化硅沉积等介电层指标，接触孔填充、3D NAND通道孔多晶硅沉积制造等先进工艺节点中具有关键作用。本产品具有超高纯度等优点，可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

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