中巨芯科技股份有限公司--高纯氢气（H2）

英文名称：Hydrogen
纯度等级：5N
包装规格：管束车

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主要应用：半导体晶圆制造的成膜工艺

高纯氢气因其优异的还原性和工艺兼容性，是半导体制造中一种关键工艺气体，主要用于多晶硅沉积、外延生长等化学气相沉积工艺，高温退火和金属化后退火等退火工艺，钨沉积前的预清洁、氮化硅的选择性蚀刻等蚀刻工艺、以及金属氧化物还原和工艺腔室清洁等还原反应中广泛应用。

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