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半导体晶圆制造

高纯氟化氢(HF)

高纯氟化氢(HF)

英文名称:Hydrogen Fluoride
纯度等级:5N
包装规格:40L钢瓶
业务咨询
详细介绍
主要应用:半导体晶圆制造的蚀刻工艺
高纯氟化氢在半导体制造中在硅基材料的干法蚀刻、碳化硅功率器件的表面处理和氮化镓器件的制备及CVD反应腔的维护清洗等特殊工艺中具有应用。本产品具有超高纯度等优点,可满足客户的多种包装和钢瓶接头的要求。

 

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